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超純水設(shè)備、電子超純水一般工藝流程

[2011/5/13]

  電子超純水一般工藝流程:

  (水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn),電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)

  典型工藝2:原水→預(yù)處理→反滲透→EDI→精密過濾→用水點

  ·預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象

  ·預(yù)處理-一級反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

  ·預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

  ·預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

  應(yīng)用場合:

  ·半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

  ·超純材料和超純化學(xué)試劑;

  ·實驗室和中試車間

  ·汽車、家電表面拋光處理;

  ·其他高科技精微產(chǎn)品。

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